静圧支持ピストン構造をとる超精密エアサーボテーブル
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概要
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- 1996-09-01
著者
-
香川 利春
東京工業大学 精密工学研究所
-
藤田 壽憲
東京工業大学精密工学研究所
-
張 志城
東京工業大学 精密工学研究所
-
大隈 雄三郎
SES研究所
-
大隈 雄三郎
京セラ株式会社精密ユニット開発課
-
大隈 雄三郎
Ses研
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