RFスパッタ法によるNd-Fe-B系薄膜の作製

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概要

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• 1997-10-01

著者

• 奥田 高士

  名工大

• 奥田 高士

  名古屋工業大学材料工学科

• 中西 昭男

  住友特殊金属(株)

• 中西 昭男

  住友特殊金属

• 水谷 直紀

  名工大

• 西山 淳

  名工大

• 菊井 文秋

  住友特殊金属(株)

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