RFマグネトロンスパッタ法によるFe-Si-N膜の軟磁気特性

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概要

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• 1997-10-01

著者

• 柳 邦雄

  日本ビクター(株)電子デバイス事業部

• 柳 邦雄

  日本ビクター(株)

• 板東 正樹

  日本ビクター(株)

• 細井 克昌

  日本ビクター(株)

• 小原 荘平

  日本ビクター(株)

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