Fe-Ta-N膜の膜応力に及ぼす基板加熱効果

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 1995-09-01

著者

• 柳 邦雄

  日本ビクター(株)

• 大浦 秀男

  日本ビクター

• 細井 克昌

  日本ビクター(株)

関連論文

• CoO添加Mn-Znフェライト単結晶の高周波特性
• CoO添加フェライト単結晶の磁気特性
• CoO添加フェライト単結晶の磁気特性
• RFマグネトロンスパッタ法によるFe-Si-N膜の軟磁気特性
• CoFe/Cu多層フリー層を用いたスピンバルブ膜
• (111)配向InSb膜の形成について
• Fe-Ta-N膜の膜応力に及ぼす基板加熱効果

スポンサーリンク