MOCVDによる高品質アルミニウム膜作製法

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概要

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• 日本金属学会の論文

著者

• 中嶋 一雄

  株式会社富士通研究所集積材料研究部

• 松宮 康夫

  株式会社富士通研究所集積材料研究部

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