AIP法によるTi-60at%Hf合金の窒化物薄膜作製と反応性に関する研究

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概要

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• 表面技術協会の論文

著者

• 黄 燕清

  東海大学 工学部

• 姜 求賢

  東海大学 工学部

• 内田 裕久

  東海大学 工学部

• 内田 裕久

  東海大学 工

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