シリコン基板表面状態とゲート酸化膜の信頼性

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概要

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• 社団法人 表面技術協会の論文
• 1998-03-01

著者

• 小澤 良夫

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 福元 正人

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 水津 康正

  (株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

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