イオンプレーティング法によるTiN被膜の大気雰囲気中での熱サイクル特性
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概要
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- 日本高圧力技術協会の論文
- 1998-03-25
著者
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横田 理
日本大学工学部
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横田 理
日大工・機械
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石渡 信治
日本真空技術
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横田 理
日大工
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伊藤 嘉亮
福島県ハイテクプラザ
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石渡 信治
日本大学工学部
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本田 和夫
福島県ハイテクプラザ
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横田 理
日本大学 工学部
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