イオンビームスパタリングと酸素イオン照射併用法による結晶質Al_2o_3膜の作製とその耐摩耗特性

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概要

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• 日本金属学会の論文
• 1997-06-20

著者

• 松村 直巳

  株式会社ライムズ第4研究室

• 林 常昭

  株式会社ライムズ第4研究室

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