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林 常昭 | 株式会社ライムズ第4研究室
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松村 直巳
株式会社ライムズ第4研究室
林 常昭
株式会社ライムズ第4研究室
著作論文
イオンビームスパタリングと酸素イオン照射併用法による結晶質Al_2o_3膜の作製とその耐摩耗特性
Al2O3薄膜におけるイオン照射誘起相変態
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