タングステンのエッチバック工程中に発生するパーティクルのin-situ計測

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1998-09-20

著者

• 土井 浩志

  アネルバ(株)

• 阪本 真悟

  Nec九州

• 上杉 文彦

  NEC,デバイス評価技術研究所

• 伊藤 奈津子

  NEC,デバイス評価技術研究所

• 守屋 剛

  NEC,デバイス評価技術研究所

• 林 雄二

  NEC九州

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