超高真空ウエハ搬送装置の開発
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1998-03-20
著者
-
橘内 浩之
日立製作所 機械研究所
-
菅野 誠一郎
(株)日立製作所機械研究所
-
橘内 浩之
(株)日立製作所機械研究所
-
妻木 伸夫
(株)日立製作所機械研究所
-
妻木 伸夫
(株)日立製作所 機械研究所
-
妻木 伸夫
(株)日立製作所
関連論文
- 有磁場マイクロ波エッチング装置内壁に入射するイオンのin situ分析
- Alエッチング装置内壁面の入射イオンのin situ分析
- Alエッチング装置内壁面の堆積膜のin situ分析
- 有磁場マイクロ波プラズマエッチング容器内壁面への入射イオンの分析
- 超高真空ウエハ搬送装置の開発
- エッチャ内壁上付着異物のフーリエ変換赤外分光法によるインプロセス分析
- 超高真空ウエハ搬送装置の開発
- 静電吸着にともなうウエハ裏面への付着異物の低減
- 硬質膜の半導体装置への応用(硬質膜の精密工業への応用)
- SEM・トライボシステムによる摩耗の微視機構の研究 : 摩耗粒子の数とその予測
- SEM・トライボシステムによる摩耗の微視機構の研究 : 繰返しすべり摩擦における微視的摩耗形態の遷移とその予測
- 双極型静電チャックの特性評価
- 双極型静電チャックの内部電極の面積比が残留吸着力に及ぼす影響
- 高速下でのトライボロジー
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- 酸化させたインバー材の昇温脱離法によるガス放出特性
- 機素潤滑設計部門 : 宇宙機械をも支えるミクロなアプローチ(機械技術の未来予測)
- 企業におけるトライボロジー教育の変遷(機械関連)
- 産業分野のトライボロジー 半導体製造装置
- 半導体製造装置のトライボロジー
- Micro Particle Analyzer for Semiconductor Wafer