微小荷重下でのシリコンウェーハと鋼球の摩擦に及ぼす雰囲気の影響
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概要
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- 1996-03-15
著者
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上村 正雄
豊橋技術科学大学 機械システム工学系
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浦風 和裕
富山商船高等専門学校電子制御工学科
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小池 豊隆
中部電力(株)尾鷲三田火力発電所
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上村 正雄
豊橋技術科学大学
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浦風 和裕
富山商船高等専門学校
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