窒素プリイオン注入による浅いp^+n接合形成技術

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1995-11-20

著者

• 松井 安次

  三菱電機(株)

• 川崎 洋司

  三菱電機(株)ulsi開発研究所

• 高橋 武人

  三菱電機(株)ULSI開発研究所

• 村上 隆志

  三菱電機(株)ULSI開発研究所

• 松井 安次

  三菱電機ulsi開発研究所

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