フッ素プラズマによる腐食
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概要
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- 日本セラミックス協会の論文
- 1995-11-01
著者
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大嶋 一之
東芝セラミックス(株)セラミック事業部AC技術部
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中村 好男
東芝セラミックス
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宮崎 晃
東芝セラミックス(株)開発研究所
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大嶋 一之
東芝セラミックス(株)開発研究所
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中村 好男
東芝セラミックス(株)開発研究所セラミックス研究部
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