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TDK（株） | 論文

• 片持ち梁構成のFePd/PZT積層型の高感度磁気センサの検討
• ホール素子特性における応力依存性の検討
• 共振周波数の異なる複数の片持ち梁式圧電バイモルフを用いた自立型振動センサ

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