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BEANS研 | 論文
- 436 薄膜材料を対象とした二軸引張試験技術の開発(T09-3 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(3) マイクロ・ナノ実験力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- ナノプローブ先端の力学的挙動と接触抵抗値の関係
- SPMリソグラフィ用耐摩耗マイクロプローブ
- T0302-1-3 環境制御型引張試験システムを用いたAl合金薄膜の機械的特性評価(マイクロ・ナノ力学とシステム設計論(1))
- MNM-1B-7 二物質同時接触型耐摩耗プローブのトライボロジー特性評価(セッション 1B 情報・精密機器におけるマイクロ・ナノテクノロジー1)
- B-1 ナノサイズプローブ先端の電気的コンタクト特性(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- Electric Contact Characteristics at the Nanoscale Probe Tip
- (16)ナノスケールプローブ先端の電気的コンタクト特性(論文,日本機械学会賞〔2012年度(平成24年度)審査経過報告〕)
- ナノスケール摺動電気接点における接触抵抗安定性と耐摩耗性
- D-1-5 Coupled Vibrating-Body Field Effect Transistorの特性解析(D-1 マイクロアクチュエータ,口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- D-2-5 カンチレバー表面のエッチングダメージが及ぼす機械特性への影響評価手法の提案(D-2 設計・プロセス,口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)