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2nd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo | 論文
- (マイクロマシン)
- (マイクロマシン)
- 走査型電子顕微鏡下でのナノメータオーダの3次元物体へのプロービング機構 (マイクロマシン)
- ナノスケール科学技術における傾向 : 薄膜の機械的特性の測定 (マイクロマシン)
- ナノスケール科学技術における傾向 : ナノカンチレバーの製作,発生力と局所的な弾性の測定 (マイクロマシン)
- (マイクロマシン)
- 加熱により作製したナノメートルオーダの振動子の形状変化と機械特性 (マイクロマシン)
- 結晶を基準に用いた2次元位置決め制御 (先進プロダクションテクノロジー)
- シリコンインテグレーテイドオプティクス (マイクロマシン)
- トンネル電流を用いた変位検出の問題点 (マイクロマシン)