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（株）東芝　研究開発センター | 論文

• 擬似SoC技術を用いた集積型MEMS-半導体マイクロチップの開発
• 自己組織化ポリマーマスクにより作製したCo-Ptドットのサイズばらつきと磁気特性
• 真空度検知機能を有する赤外線イメージセンサ
• 真空度検知機能を有する赤外線イメージセンサ

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