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野村マイクロ・サイエンス(株) | 論文

• 炭酸エチレンを用いたイオン注入レジストの除去(半導体材料・デバイス)
• ボルテックスリングの液体混合に及ぼす効果
• 新型2軸撹拌翼オクタジットの流動特性
• 新型撹拌翼オクタジット (特集 単位操作の今を理解する)
• 溶剤による化学増幅ネガ型ノボラックレジストの除去
• 炭酸エチレンへのエチレングリコール添加によるレジスト除去速度の向上

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