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計量研究所 | 論文
- 品質設計システム(CAMPS)による成形条件最適化の信頼性
- CAMPSによる成形品質の設計 (プラスチックにおけるタグチメソッド)
- 成形加工実験の体験 (成形品質工学の活用)
- 精密成形システムの設計 (精密成形システムの展開)
- 熱物性値に関するデータベースの現状
- 熱物性測定における標準物質
- プレート同調発振器の雑音測定 : 計測
- 親ねじによる定速度送り装置の送り速度の測定 : 測定技術
- AFM の試作と回折格子の形状測定
- LSI用マスクパターンの線幅測定 : 国内での持回り測定結果について
- 円筒領域モデルによる2次電子エッジ信号の推定
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- サブμm領域における線幅標準とその測定
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- Critical Dimension Measurement by Electron and Optical Beams for the Establishment of Linewidth Standards
- マイクロパタ-ン絶対測長装置の開発
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- マイクロパターン測長におけるエッジ(edge の機能と評価・管理)
- 超音波モータとピエゾ駆動機構を用いたSEM用試料ホルダ(固体アクチュエータ)
- 3a-M-6 半導体レーザー光とAr^+レーザー光との和周波光を用いたYb^+の分光