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立山マシン株式会社 | 論文
- プラズマ発生用高効率インバータ式12相交流電源の研究開発
- 電子サイクロトロン共鳴イオン源を用いたC_とC_イオンの生成
- 低周波バイアスを用いたニオブ酸リチウムの深掘りエッチング
- 新材料合成用電子サイクロトロン共鳴イオン源のプラズマ評価
- 低周波バイアスを用いたニオブ酸リチウムの深掘りエッチング
- catalyst 単層カーボンナノチューブの高効率成長へ向けた触媒生成技術
- アルコール熱化学気相蒸着法に基づく単層カーボンナノチューブの成長装置の開発
- 産業用プラズマ発生のための高効率インバータ式多相交流電源
- アルコール熱化学気相蒸着法に基づく単層カーボンナノチューブの成長装置の開発
- 29aA19P インバータ式多相交流電源を用いたプラズマ生成とその応用(プラズマ応用)