スポンサーリンク

産総研・関西 | 論文

• 26aB23P カーボンナノチューブの配向成長(プラズマ基礎・応用)
• 28aB18P 液体金属保持型プラズマスパッタ源(加熱/炉設計)
• 29aA02P PECVD薄膜生成用磁化プラズマ源の開発(プラズマ応用)

スポンサーリンク