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東陶機器 基礎研 | 論文

• β-ジケトン金属錯体を原料に用いたCVD法によるZrO_2-Y_2O_3系酸化物薄膜の合成
• H_2-CO_2 を酸化ガスに用いた CVD 法による ZrO_2 膜の作製
• 1B02 CVD 法による多孔体への ZrO_2 薄膜合成

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