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東北大学 大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 | 論文
- 超小形ターボ機械のための超高速気体軸受
- 携帯機器用燃料電池のためのMEMS
- PowerMEMS 2005 : The Fifth International Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications 報告
- 超小形ガスタービン(すごーく小さいもの)
- 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ
- MEMSのための両面SiC PECVD装置の開発
- マイクロ振動発電機の設計論
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