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東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻 | 論文
- ハイアスペクト比の超微細格子の製作と光部品への応用
- 地下マイクロセンシングのためのマイクロゾンデの設計と製作
- 地下弾性波検出のための光干渉型マイクロ加速度計の製作と特性評価
- シリコン振動子の光ファイバ先端への取り付けと光干渉型マイクロ加速度計の開発
- 地下弾性波検出のための光干渉型マイクロセンサの開発
- マイクロマシニングによる地下弾性波計測のための光干渉型加速度センサの開発
- 多結晶材料の粒界微細組織制御による機能発現と高性能化
- 地下弾性波検出のための高感度・広帯域容量型加速度センサの開発
- マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作(第二報)
- 汎用容量検出LSIを用いたMEMS-CMOS集積化触覚センサの試作
- 計算機合成フレネルホログラムによる三次元露光
- 細胞の力学特性計測のためのレーザ顕微鏡組込み型原子間力顕微鏡(AFM)システムの開発(機械力学,計測,自動制御)
- SC-10-3 マイクロマシニングによる集積型光学システムの制作
- OS0403 分子シミュレーションによるカーボンナノチューブ-ポリマー複合材料の界面特性評価(原子スケールモデリングとナノ・マイクロ実験力学(1))
- 東北大メカノプティクス研究室東北大学大学院工学研究科機械電子工学専攻羽根研究室
- 606 めっき銅薄膜配線のストレスマイグレーション耐性(OS6-1 シリコン貫通ビア技術と強度信頼性)
- マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作
- 透過型フォトダイオードによる変位計測
- Siマイクロマシニングによるメカトロニクス用光センサの開発
- AFMによって計測した培養内皮細胞の形態的および力学的特性