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東北大学原子分子材料科学高等研究機構 | 論文
- 三次元イメージングがもたらす新しい高分子構造解析
- MEMS技術の変遷と応用
- D213 中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO_2の堆積と微細加工(OS-1 マイクロエネルギー変換(2),一般講演,地球温暖化防止と動力エネルギー技術)
- イオンビームスパッタ法を用いたPZT圧電薄膜
- カーボンナノチューブ複合材料マイクロアクチュエータ
- アルカリウェットエッチング用レジストの評価と応用
- マイクロマシン/MEMS(3.1 各分野の現状,3.精密工学の今,創立75周年記念)
- MEMSのウェーハレベルパッケージング(先端電子デバイスパッケージと高密度実装プロセス技術の最新動向論文)
- 産業再活性化に向けて : マイクロセンサや低侵襲医療ツールの研究経験から(日本のME産業発展における真の問題点と解決策)
- CT-1-2 MEMSデバイスに関わる材料とプロセス技術(CT-1. サスティナブル社会のための先端デバイス・材料とプロセス技術の現在と未来,チュートリアルセッション,ソサイエティ企画)
- マイクロアクチュエータ利用のMEMS(アクチュエータ,チカラのみなもと)
- 安全のためのMEMSセンサ
- CT-2-1 MEMS関連のビジネス化(CT-2.ナノ・メカ・バイオ機能材料のデバイス・システムへの応用の新展開,チュートリアル講演,ソサイエティ企画)
- 《第8回》 マイクロセンサ
- 超微細加工への挑戦 : シリコン・マイクロマシニング(創立100周年記念 これからのつくる技術)
- 東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー -センサー・マイクロマシンの研究開発-
- MEMSデバイス : 実用化動向
- マイクロマシン/MEMSと信頼性(「信頼性・保全性・安全性の事例:機械装置とシステム編」〜信頼性ハンドブック出版から10年を経て〜)
- カーボンナノチューブ熱電発電素子の作製
- 力センシングのための水晶振動子マイクロセンサ