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富士ゼロックス株式会社 ITデバイス研究所 | 論文

• 積層造形法におけるオーバーレイ誤差の評価方法の開発
• 薄膜の常温接合による微細3次元形状創成法におけるアライメント精度の改善
• 薄膜の常温接合による微小3次元形状創成法の提案と検証
• 薄膜の常温接合による微小3次元形状創成法における薄膜パターンの転写性に関する検討

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