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住友電気工業(株)播磨研究所 | 論文
- K18 放射光とマイクロマシン
- LIGA技術により作成された1-3複合圧電材料とそれを用いた広帯域高周波フェーズドアレイ探触子の試作
- C-3-104 X線による導波路描画に適したシリカガラス系材料の探索
- マイクロコネクタの自動着脱機構
- 放射光を用いたマイクロコネクタの開発
- ディープX線リソグラフィーを基本とする3次元微細加工を用いたマイクロコネクタの開発
- 自動着脱機能を持つマイクロコネクタの開発
- 放射光によるPZT微細加工と複合圧電材料への応用
- 超電導小形シンクロトロン光源を用いたLIGAプロセスの開発
- シンクロトロン放射光を用いた微細加工
- 27a-SG-2 小型SRリングのneutralization factorを測定する新しい方法
- 住友電気工業(株)播磨研究所
- V. 放射光による加工 1. LIGAプロセス(マイクロマシン)
- 住友電気工業(株)播磨研究所
- リソグラフィ技術のマイクロマシン応用
- 超電導小形シンクロトロン光源
- 小形電子浮動リングの開発
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