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住友重機械工業株式会社 | 論文
- モリブデン製ツルアによるマイクロダイヤモンドホイールの高精度・高能率成形に関する研究
- 高負荷脱窒素膜分離方式によるし尿処理の実証的研究
- 交通・物流
- φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 : 第2報 装置性能の検証(剛性・運動精度)
- ナノメータ位置決めシステムの開発(第1報) : シミュレーションによる基礎的検討
- 両頭研削 (特集 硬脆材料の機械加工技術--付加価値の高い電子材料の加工) -- (シリコンウェハ工程別加工技術)
- Siウェハ用超精密両頭研削装置の開発 -第一報 システム構成と性能評価-
- φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用両頭研削装置の基礎検討-
- 傾斜角積分法による超精密形状計測法の開発
- 超精密非球面形状計測装置の開発 : ゴニオメータの角度位置決め精度の検証
- 傾斜角積分法による形状測定(第2報)-EEMよる修正加工前後の形状測定-
- 傾斜角積分法による形状測定(第1報)-製作した自動測定装置の性能-
- 大気中で使用する時のHe-Neレーザ光の特性
- シンクロトロン放射光用ミラーの超精密形状測定装置の開発
- 焼却施設からのダイオキシン類緑化合物の排出実態調査
- 活性炭移動層式吸着塔と再生塔によるダイオキシン除去・分解技術
- 27a-SC-10 長基線レーザー干渉計型重力波検出器試験装置
- 日本リニアコライダー計画の粒子加速管接合組立技術の開発
- 超精密加工された銅板の拡散接合 : 銅の拡散接合に関する研究(第1報)
- 超精密加工を用いた加速器部品の拡散接合組立 (フォーラム「界面接合技術の先進的応用を考える」)