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住友重機械ファインテック(株) | 論文
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- Siウェハ用超精密両頭研削装置の開発 -第一報 システム構成と性能評価-
- φ400ウェーハの超精密両頭研削技術の研究 -第1報 超大口径ウェーハ用両頭研削装置の基礎検討-
- 大口径ベアウエーハの平坦化技術(半導体デバイスの平坦化技術)
- 最近の立軸平面重研削技術(最近の高能率研削・重研削技術)