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伊丹製作所 | 論文
- 放電中にアーク状放電が含まれないKrFエキシマレーザ発振器の開発と寿命特性
- エキシマレーザー加工用転写光学系の開発
- 量産用KrFエキシマレーザの開発
- エレクトロニクス分野におけるエキシマレーザー加工の応用
- エキシマレーザの高効率転写加工光学系
- エキシマレーザアブレーションによる誘電体多層膜マスクパターン形成
- Excimer Laser加工機における光学部品の選択とその取り扱い
- 高効率・大面積エキシマアブレーション加工装置の開発
- 高利得パルス色素レーザー増幅器
- エキシマレ-ザ-高速微細穴明け装置の開発