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三菱電機株式会社 生産技術センター | 論文
- エキシマレーザの高効率転写加工光学系
- エキシマレーザアブレーションによる誘電体多層膜マスクパターン形成
- Excimer Laser加工機における光学部品の選択とその取り扱い
- 高効率・大面積エキシマアブレーション加工装置の開発
- 349 セラミックスの高速エキシマレーザ加工時におけるクラック抑制方法の検討
- 異方性導電接着フィルムを用いたフリップチップ実装 : うねりや厚さむらのあるビルドアップ基板 への実装工法の実験的検討
- 343 厚板のレーザ切断における不安定現象 : 厚板のレーザ切断現象に関する研究(第1報)
- エキシマレ-ザ-高速微細穴明け装置の開発
- 異方性導電接着フィルムを用いたフリップチップ実装 : うねりや厚さむらのあるビルドアップ基板 への実装工法の実験的検討