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三菱マテリアル株式会社三田工場 | 論文

• 高周波マグネトロンスパッタリング法によるGe-Sb-Te薄膜の作製及び評価
• アルミニウム薄膜-金バルク拡散対における相成長ならびに微量カルシウムの相成長への影響
• Ge-Sb-Te系による新規組成の薄膜作製および評価
• BSTOスパッタリングターゲットの熱応力解析

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