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ファナック | 論文
- フライアイミラーの超精密五軸制御加工と光学特性評価(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 超精密マイクロV形止り溝の創成
- EUV露光装置光学系フライアイミラーの超精密5軸制御加工(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 高アスペクト比形状の超精密マイクロ切削加工
- 層流化による空気軸受の無振動化 : 切削加工への適用効果について
- 層流化による空気軸受の無振動化 : 構造について
- 超精密マイクロ溝加工の研究 : 血液適合性評価用のマイクロ流路の製作
- 高アスペクト比形状のマイクロ切削加工 : マイクロニードルアレイの金型化
- フライアイミラーの超精密5軸制御加工 : 形状精度, 表面粗さの向上
- F17-(2) 超精密加工機を用いた微細切削技術
- 超精密ナノ加工機の開発
- フライアイミラーの超精密5軸制御加工
- 超精密リニア駆動装置の研究(リニアモータ構造の検討)
- 非回転工具によるマイクロ止り溝加工の研究
- 非回転工具を用いたマイクロV溝加工の研究:面粗さ向上を目指した適性加工条件の選定
- 微細加工技術と超精密位置決め技術
- 非回転工具による多焦点マイクロフレネルレンズ加工
- 高アスペクト比形状の超精密切削加工 : 脆性材料の高アスペクト比形状加工
- マイクロV溝を利用した微小部品の直接接合 : 2方向溝を用いた高精度位置決め
- 理想的断面をもつ非球面凸フレネルレンズの製作