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トプコン | 論文
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- 0118 静電駆動型DMによる波面収差補正アルゴリズムの開発(G10-4 動的設計,G10 機械力学・計測制御)
- 3129 静電駆動型ディフォーマブル・ミラーに対する印加電圧の最適化(J03-2 解析・設計の高度化・最適化(2),J03 解析・設計の高度化・最適化)
- 1118 静電駆動型DM(Deformable Mirror)の開発 : 第2報:静的特性の解析(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- カソ-ドルミネッセンス顕微法(III)応用
- 1117 静電駆動型DMの開発 : 第1報:DMを用いた波面補償システム(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- 半導体露光マスク検査用深紫外線光学系 (特集 最新光学系の現状(2)EUV〜DUV領域の光応用技術)
- 結像素子・光学機械
- 赤外光学系への応用 (特集 回折光学素子)
- MEMS技術と補償光学
- 2P1-F18 カメラ振動に伴う対象物位置の信頼性を考慮したロバストステレオシステム
- 第33回光学シンポジウム参加報告