1117 静電駆動型DMの開発 : 第1報:DMを用いた波面補償システム(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
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概要
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For high-resolution retinal camera, we have developed an adaptive optical system with a silicon-membrane deformable mirror (DM), which is electrostatically actuated by 85 electrodes. The square voltages applied to the electrodes are mathematically calculated by a linear combination of base templates, each of that approximately forms a specific Zernike-modal shape. We present a derivation method how to obtain new templates. The suitable coefficients for the template combination are derived by the least-squares method. By using the method, we have successfully improved the wavefront compensation performance in the adaptive optics with the DM.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2007-03-19
著者
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