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アルバック・クライオ株式会社 | 論文

• 蓄冷器分離型GM冷凍機を用いたベーカブルクライオポンプの開発
• クライオポンプの到達圧力付近における水素排気特性
• パルス管冷凍機の冷凍性能および冷凍温度安定性
• クライオポンプとクライオトラップの最近の発展
• クライオポンプのト-タル管理システム (次世代プロセスを支える半導体周辺材料・装置)
• 超高真空クライオポンプでの極高真空達成

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