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(株) 大阪真空機器製作所 | 論文
- 新型分子ポンプの開発 (I)
- 私の技術開発と企業経営 : 蒸気エゼクタ, ターボ分子ポンプの開発と社会環境の変化の関わりを通して
- 磁気浮上型分子ポンプ材料へのトリチウムの吸着
- ENGウェハー・モジュールの真空特性
- 大型アルミニウム合金製ターボ分子ポンプ
- 新型分子ポンプの開発 (II)
- ターボ分子ポンプのH2に対する性能
- ターボ分子ポンプの受ける磁場の影響
- 遠心式高真空蒸留装置
- 経済的な立場から見たスチーム・エゼクター : 特に高真空領域において
- JT-60計測装置の真空系
- 大気突入に耐える大型TMPの開発
- 磁気浮上型複合分子ポンプの磁場による影響
- 種々の気体に対する複合分子ポンプの排気特性(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 分子ポンプの排気口を閉じた時の残留ガス分析(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 放射熱によるTMPロ-タの温度上昇(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 低エネルギ-イオンを利用したDIBS法によるa-Si:H薄膜の作製(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)