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(株)荏原製作所 | 論文
- 天然ガス液化基地の主要なポンプとエキスパンダータービン
- (12)Principle and Experiments of an All-passive-type Magnetic Bearing System (全受動型磁気軸受の原理と実験)
- COD除去を目的とした下水の高度処理
- 高真空スパッタによる微細孔の埋込
- ウェハ保管環境の MOS デバイス特性への影響
- 21103 スラリー各成分がCu表面層の機械的特性に及ぼす影響の定量的評価(微細計測技術,OS.3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体,MEMS,NEMS))
- 21412 CMPスラリーによるCu表面反応層の機械的特性のAFMを用いた評価(CMP,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- 21414 電解複合研磨(ECMP)によるCuクリアプロセスの検討(CMP,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- 21712 CMP用研磨パッドの幾何形状のポリッシュプロセスへの影響(平坦化,OS.12 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
- J0501-4-3 RANS/LESハイブリッドモデルを用いたキャビテーション乱流の数値解析(流体機械の研究開発におけるEFD/CFD(4))
- 511 遠心ポンプのキャビテーション流れ解析
- 1239 遠心ポンプ・キャビテーション揚程低下の実験的研究
- 吸収冷凍サイクルの特性解析
- 吸収式冷凍機の最新動向
- 高速フレーム溶射によるFeSi_2熱電材料の溶射成形
- 高速フレーム溶射によるFeSi_2熱電材料の溶射成形
- ポンプ設計・解析技術開発における産学連携
- 流動床式焼却施設のダイオキシン類対策工事
- 真空脱気処理による汚泥の沈降性および脱水性改善効果
- マイクロアブレシブウォータージェット加工機の開発(S20-2 様々なマイクロ流動現象,S20 マイクロ・ナノスケールの流動現象)