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(株)荏原製作所 | 論文
- 超純粋超高速せん断流によるシリコンウエハ表面の洗浄:汚染微粒子の除去特性
- 超純水のみによる電気化学的加工法の研究 : 加工現象の第一原理分子動力学シミュレーション
- 21413 シリコンウェーバ製造時の研磨におけるウェーハエッジ形状の影響(CMP,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- In-situ電気化学的評価によるCMPスラリーと配線用金属との表面反応の評価及び表面層の物性評価
- 金属配線CMPスラリー各成分の in-situ 電気化学評価
- 21708 In-situ評価手法によるCMPスラリーおよび後処理液とCuとの表面反応の電気化学的評価(配線2,OS.12 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS))
- 励起された二次元噴流場の秩序渦構造(「境界層遷移の解明と制御」 研究会講演論文集 (第7回・第8回))
- 第1回環太平洋プラナリゼーションCMPとその応用技術に関する国際会議2004
- 浄水処理に使用した膜の汚染物質に関する研究(3) : 前塩素処理の膜汚染抑制効果
- 浄水処理に使用した膜の汚染物質に関する研究(2) : 汚染膜の薬品洗浄方法に関する検討
- 浄水処理に使用した膜の汚染物質に関する研究(1) : 膜汚染物質構成成分とその濾過抵抗の評価
- 排水ポンプ用逆流防止弁の動特性(流体工学,流体機械)
- FCC動力回収タービン用耐硫化性Ni基超合金
- 高効率ごみ発電用ボイラ過熱器腐食調査
- 高効率ごみ発電用ボイラ過熱器の現状報告(第1報)
- 可変液量形流体継手内流れの実験的研究
- 危険速度通過時におけるロータ・振れ止め系の衝突振動
- アイスオンコイル型氷蓄熱装置におけるブリッジングが製氷特性に与える影響
- ストーカ式ごみ焼却炉における負荷追従型自動燃焼制御
- 「残響室における音響パワーレベル測定方法」JIS原案について