スポンサーリンク
(株)東芝研究開発センタ | 論文
- 紫外線分解法と触媒分解法の組み合わせ方式によるPCB無害化処理装置の最適化
- 弁絞りによる配管管壁と管内高次音響モードとの連成振動
- 音響パワーを最小とする能動騒音制御の研究 : 大型開口部放射音の低減手法の提案と実機への応用(機械力学,計測,自動制御)
- 音響パワーを最小とする能動騒音制御の研究 : 大型開口部放射音を対象とした音圧最小制御法の提案(機械力学,計測,自動制御)
- エキシマレーザ露光装置における高精度位置合わせ方法 : 露光光学系誤差の補正
- エキシマレーザ露光装置用TTLアライメント法におけるアライメント光学系の誤差要因検討と高精度化
- TTLアライメントを用いたエキシマレーザ露光装置
- エキシマレーザ露光装置用TTLアライメント法 : 倍率色収差を補正したリアルタイムアライメントSMART
- 投影露光装置用 TTL アライメント法 : 2光束入射を用いて色収差を解決した TTL アライメント
- ポリシランを用いたLSI超微細加工用パターントランスファー膜特性と分子構造との相関 : 反射防止膜とパターントランスファー特性を兼ね備えたLSI微細加工用材料
- p-Si Transistors/Displays, Substrate Processing(SID'99報告 :Active-Matrix LCDs)
- SID'99報告 : Active-Matrix LCDs (p-Si Transistors/Displays, Substrate Processing)
- SID'94技術報告(AMLCD,Manufacturing) : 情報ディスプレイ
- アルカリ水溶液で現像できる次世代リソグラフィー用ポリシラン
- 酸素架橋ポリシランEL素子
- 機能性ポリシランの合成とそれを使った配向薄膜
- リチウムシリケートペレットを用いたCO_2吸収型非平衡改質によるエタノールからの水素製造
- 音響パワーを最小とする能動騒音制御の研究 : ゼロ制御パワーに着目した音響パワー最小化(機械力学,計測,自動制御)
- 任意の伝達関数を実現でき整合点で振幅感度がゼロとなるT縦続接続構成ウェーブディジタルフィルタ
- 任意の伝達関数を実現でき整合点で振幅感度が零となる II 縦続接続構成ウェーブディジタルフィルタの存在