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(株)岡本工作機械製作所 | 論文
- テトラ-メチル-アンモニウム-ヒドロキシド(TMAH)を用いたシリコンウェーハの研磨加工及びAFMによる原子スケール加工の研究
- Siウエハポリシング面のAFMによるあらさの評価(第11報) SiO_2探針による加工法
- テトラ-メチル-アンモニウム-のEMCポリシング (電気機械化学作用複合研磨)
- 埼玉(さきたま)古墳からの出土品(金錯銘鉄剣)の再現加工に関する研究
- AFMにより測定したシリコンウエハポリシング面粗さのフラクタル解析
- Siウエハポリシング面のAFMによるあらさの評価(第10報)TMAHを用いたポリシング法の研究
- Siウエハポリシング面のAFMによるあらさの評価(第9報)TMAH水溶液中による加工
- AFMによる原子スケール加工法の研究
- 電気的に加工を制御した, 機械, 化学作用複合ポリシング法の研究
- 超高速平面研削盤の開発 : 超高速研削に関する研究(第2報)
- シリコンウエハのポリシング用研磨布の評価と平坦度の向上
- 連続ドレッシングを伴うクリープフィード研削
- 合成樹脂模型による平面研削盤コラムの剛性研究
- 国内外の工作機械の性能展望
- PFG-1形光学式成形研削盤について
- 西ヨーロッパ工作機械工場の印象
- 工作機械工業の展望
- 研削盤の発展(2.精密機器工業の進歩)
- 高感度非接触粗さ計の開発
- アンホ及びプリル硝安について -誕生と発展の技術的考察-