合田 達郎 | 東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻

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概要

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• 東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻の論文著者

東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻 | 論文

• 化合物半導体集積光デバイスとドライエッチング技術
• 選択領域有機金属気相成長の気相拡散効果を用いたInGaN系多波長発光素子の検討(窒化物半導体光・電子デバイス・材料,及び関連技術,及び一般)
• 超臨界流体を用いたSiO_2製膜における酸化剤効果
• MEMS応用に向けた超臨界流体を用いた金属薄膜形成技術の開発
• 超臨界流体を用いたSiO_2製膜の開発

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