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中村 友二 | (株) 富士通研究所
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概要
同名の論文著者
(株) 富士通研究所の論文著者
関連著者
武山 真弓
北見工業大学
野矢 厚
北見工業大学
佐藤 勝
北見工業大学
中田 義弘
(株) 富士通研究所
小林 靖志
(株) 富士通研究所
中村 友二
(株) 富士通研究所
著作論文
ラジカル反応を応用した低温でのSiN_x膜の作製
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