谷澤 佳道 | 株式会社東芝研究開発センター
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概要
株式会社東芝研究開発センター | 論文
- 酸気相反応分解法を用いるシリコンウェハー中の超微量金属元素の定量法
- イオン交換分離/誘導結合プラズマ質量分析法による半導体用シリコンウェハー中の微量ヒ素の定量
- 高分解能誘導結合プラズマ質量分析法によるシリコンウェハー上超微量リン及びチタンの定量
- 局所酸分解/誘導結合プラズマ質量分析法による半導体用シリコンウェハー中の超微量金属元素の面内分布
- 有限地板とモノポール素子による広帯域円偏波アンテナ