平井 悠久 | 東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻

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概要

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• 同名の論文著者
• 東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻の論文著者

関連著者

• 喜多 浩之

  東京大学大学院光学系研究科マテリアル工学専攻

• 平井 悠久

  東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻

• 喜多 浩之

  東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻:JSTさきがけ

著作論文

• FTIR-ATRスペクトルによる4H-SiCと熱酸化膜の界面構造の解析(SiC-MOSゲートスタック技術の進展,ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)

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