Kiermasz Adrian | Metryx Ltd., Bristol BS32 4SH, U.K.

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概要

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• 同名の論文著者
• Metryx Ltd., Bristol BS32 4SH, U.K.の論文著者

関連著者

• Kobayashi Akiko

  ASM, Tama, Tokyo 206-0025, Japan

• Kobayashi Nobuyoshi

  ASM, Tama, Tokyo 206-0025, Japan

• Kimura Yosuke

  ASM, Tama, Tokyo 206-0025, Japan

• Matsushita Kiyohiro

  ASM, Tama, Tokyo 206-0025, Japan

• Ditmer Gary

  Metryx Ltd., Bristol BS32 4SH, U.K.

• Ishikawa Dai

  ASM, Tama, Tokyo 206-0025, Japan

• Nakano Akinori

  ASM, Tama, Tokyo 206-0025, Japan

• Kiermasz Adrian

  Metryx Ltd., Bristol BS32 4SH, U.K.

著作論文

• Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Sealing Property on Extreme Low-k Film with k = 2.0 Quantified by Mass Metrology

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