KANAMORI Jun | VLSI R&D Center, Electronic Devices Group, Oki Electric Industry Co., Ltd

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概要

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VLSI R&D Center, Electronic Devices Group, Oki Electric Industry Co., Ltd | 論文

• Vertical Profile Control in Ultrahigh-Aspect-Ratio Contact Hole Etching with 0.05-µm-Diameter Range
• Characteristics of Very High-Aspect-Ratio Contact Hole Etching

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