佐藤 弘人 | 技術研究組合 極端紫外線露光技術システム開発機構研究開発センタ御殿場分室

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関連著者

• 佐藤 弘人

  技術研究組合 極端紫外線露光技術システム開発機構研究開発センタ御殿場分室

• 佐藤 弘人

  技術研究組合euva

• 寺本 雄介

  技術研究組合euva

• 成廣 善三

  技術研究組合EUVA

• 山谷 大樹

  技術研究組合EUVA

著作論文

• リソグラフィ用放電プラズマEUV光源
• 5.放電生成プラズマ光源 : 5.2実用化のための課題と将来展望(リソグラフィ用EUV(極端紫外)光源研究の現状と将来展望)
• EUVL用ディスチャージ生成プラズマ光源の開発

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